半导体晶圆桨叶干燥机

技术领域

[0001] 本实用新型涉及干燥机技术领域，具体为一种桨叶干燥机。

背景技术

[0002] 桨叶干燥机是一种在设备内部设置搅拌桨，使湿物料在桨叶的搅动下，与热载体以及热表面充分接触，从而达到干燥目的的低速搅拌干燥器，结构形式一般为卧式，双轴或四轴。桨叶式干燥器分为热风式和传导式。

[0003] 现在对干燥的效率和效果的要求越来越高，传统直接进行热风的干燥方式已经不能满足需求，尤其是在一些特殊物质的干燥上，例如半导体晶圆的干燥。实用新型内容

[0004] 针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种干燥效果好的桨叶干燥机。

[0005] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种桨叶干燥机，包括第一承载臂、第二承载臂、干燥罐、水箱以及接水箱，所述水箱安装在干燥罐的顶部，所述接水箱安装在干燥罐的底部，所述水箱的顶部设有注水口，所述注水口上设有密封帽，所述干燥罐的前侧设有第一密封盖，所述第一密封盖与干燥罐铰接，所述干燥罐内设有杀菌装置、转动轴以及喷淋头，所述杀菌装置为紫外线光照灯，所述杀菌装置安装在干燥罐的内腔顶部以及内腔的两端侧壁上，所述喷淋头设有多个，且安装在干燥罐内腔的顶部，所述喷淋头通过导水管与水箱连通，所述转动轴通过轴承安装在干燥罐内腔的两端，所述第一承载臂以及第二承载臂内均设有安装槽，所述第二承载臂的安装槽内安装有驱动电机，所述第二承载臂上设有固定架，所述固定架上安装有第一减速电机，所述驱动电机通过传动齿轮与第一减速电机连接，所述转动轴贯穿干燥罐与第一减速电机连接，所述转动轴上设有安装架以及桨叶，所述干燥罐上设有加热器以及排气阀，所述排气阀内设有抽风机以及过滤区，所述过滤区内设有过滤装置，所述干燥罐通过排水管与接水箱连通，所述导水管以及排水管上均设有电磁阀门，所述水箱上设有排水口，所述排水口上设有密封端盖。

[0006] 进一步的，本实用新型改进有，所述第一承载臂的安装槽内安装有转动电机以及第二减速电机，所述转动电机通过传动齿轮与第二减速电机连接，所述第二减速电机上设有传动轴，所述传动轴与干燥罐连接。

[0007] 进一步的，本实用新型改进有，所述水箱、干燥罐以及接水箱采用铝镁合金材质。

[0008] 进一步的，本实用新型改进有，所述密封端盖通过螺纹杆插入排水口内，所述密封端盖的内侧设有密封垫。

[0009] 进一步的，本实用新型改进有，所述水箱以及接水箱的前侧设有清理口，所述清理口为矩形结构，所述清理口上设有第二密封盖，所述第一密封盖以及第二密封盖的内侧设有密封边，所述密封边上设有密封垫。

[0010] 进一步的，本实用新型改进有，所述干燥罐的壳体上设有导热层，所述加热器上设有储水腔，储水腔上设有导水管与导热层连通，所述储水腔上设有注水孔。

[0011] 进一步，本实用新型改进有，所述第一密封盖以及第二密封盖的底部设有限位锁，所述限位锁包括旋钮、弹簧、弹簧架、锁杆以及拉绳，所述锁杆与弹簧的一端焊接，所述弹簧的另一端与弹簧架焊接，所述弹簧架上设有通孔，所述旋钮上设有线轴，所述拉绳的一端与线轴缠绕，另一端与穿过通孔与锁杆连接，所述干燥罐、水箱以及接水箱上设有锁孔与锁杆连接。

[0012] 进一步的，本实用新型改进有，所述过滤装置包括过滤网以及碳纤维颗粒。

[0013] 与现有技术相比，本实用新型提供了一种桨叶干燥机，具备以下有益效果：

[0014] 本实用新型通过喷淋头，喷淋去离子水在待干燥物品的表面进行清洗，同时紫外线光照灯对待干燥物品进行消菌杀毒，在驱动电机的驱动下，转动轴带动安装架转动，从而带动待干燥物品转动，提高清洗面以及光照明，从而提高对待干燥物品的清洗以及灭菌效果，当干燥罐内的去离子水积攒到一定容量时，在桨叶的带动下搅拌去离子水，从而使去离子水与待干燥物品冲刷清洗，进一步提高清洗效果，待干燥物品清洗干净后表面无残留物，相对可增进较佳的干燥效果。

附图说明